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更新时间:2026.04.19
快速灵活的端子接线

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最新面市的接线端子用一种既简单又安全的连接模式取代了此前一直沿用的硬接线方式。这种新的设计同时还具有更加灵活、节省空间、可选附件以及内置智能化功能等特点。

PE蝶阀与挡板阀的快速拆装

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PD380B管式 PECVD 1 蝶阀与挡板阀的拆装 图一 PE主机台 1.炉管降温 在工控机操作界面中,将炉管温度由原来的 450°设置为 200°。 2.真空泵的吹扫 2.1抽真空;将反应压力设为 0,关掉 N2输入,打开预抽,当压力小 于 500时,关掉预抽,打开主抽,直到管内为真空状态(压力小于 40mtorr); 2.2设置 N2输入为 8000,反应压力为 1700mtorr; 2.3将真空泵的 N2稀释阀调到最大约 84.4pam3/S;吹扫至少进行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 图二 真空泵 3.关真空泵 3.1点操作面板的 stop,选择关闭真空泵(并非延时关闭) ; 3.2拉下真空泵的黑色电源开关,并且将真空泵的冷却水关掉,保持 真空泵的 N2为打开状态。 4.工具的准备 一套开口扳手(主要使用 7mm、12mm、13mm、1

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