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更新时间：2026.04.25
柴油机因其具有的扭力优势通常应用于工程机械使用。传感器是采集各种信息,以电压、电流的方式为电脑或控制中心提供分析处理数据的装置。随着矿山工程机械技术的发展,特别是柴油机电控技术在工程机械中的应用,传感器在矿山工程机械中的运用更为普遍。矿山工程机械电控柴油机温度传感器主要包括冷却水温度传感器、进气温度传感器、燃油温度传感器及大气温度传感器。本文在对矿山工程机械的传感器应用进行理论分析的基础上,在理论方面探讨了矿山工程机械温度传感器的原理与应用。
提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 m V/℃,具有良好的稳定性。
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