结合管道过程,就ESD阀关断顺序和延迟对管道流量和泄漏速率的影响进行了分析。结果表明,随着泄漏孔径的增加,管道内将出现逆流现象,管道ESD阀关断延迟顺序对小孔泄漏和大孔泄漏速率的控制存在明显不同的影响,对释放持续时间的影响较小。
结合管道过程,就ESD阀关断顺序和延迟对管道流量和泄漏速率的影响进行了分析。结果表明,随着泄漏孔径的增加,管道内将出现逆流现象,管道ESD阀关断延迟顺序对小孔泄漏和大孔泄漏速率的控制存在明显不同的影响,对释放持续时间的影响较小。
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