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机械工程学报

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机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 衬底三维温度场有限元法模拟 * 徐 锋 左敦稳 卢文壮 李 磊 王 珉 (南京航空航天大学机电学院 南京 210016) 摘要: 热丝化学气相沉积 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制备金刚石薄膜设备简单,成本低 廉,适合大面积金刚石膜的产业化生产,其中衬底温度是沉积高质量 CVD 金刚石膜的重要参数之一。基于此, 首先分析大面积 HFCVD 系统的热交换过程,建立大面积 HFCVD 系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯 热辐射模型相比,本模型更加接近实际系统,并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模

机械工程学科简介

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1 机械工程学科简介 机械工程学科以机械工程学院、汽车学院、 高速切削工程中心为基础, 现有教授 22人、 副教授 41人和讲师 45人。学科拥有机械工程一级学科硕士点,涵盖机械制造、机械设计、 机械电子和车辆工程四个二级学科硕士点,有省级重点学科机械制造及自动化学科,二个省 级重点实验室和一个省级高速切削工程中心,有 10个教学科研实验室, 14个科学研究所。 在该领域我们已取得科研成果 60 多项,具有代表性的成果有:直蚌线无连杆发动机、 CX300型数控车铣加工中心、高频焊管生产线及其关键设备“高精度定尺飞锯机”和“卧式 螺旋活套”、多功能动平衡测试仪 、4M12-78/34氧气压缩机、雷管自动装配与检测技术、 CDQ 专用电磁振动给料机等。目前的主要研究方向如下: 1.高速切削及数控装备技术: 高速切削机理研究;面向高速切削的刀具技术研究;高速 车铣原理及车铣加工技术研究; 薄壁

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