介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。
不断引进传感器技术是促进工程机械智能化的前提,差压传感器的应用实现了负荷传感液压控制,使液压挖掘机获得最佳流量,提高了作业效率和复合操纵性,达到了节能的目的,促进了液压挖掘机的技术进步。
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