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更新时间:2026.04.12
OLED用ITO导电玻璃制作方法

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加 H2镀 OLED 用 ITO 导电玻璃 为了解决 OLED 用 ITO 导电玻璃表面粗糙度和抛光粉残留影响发光器件的 发光效率及其使用寿命,希望直接用真空镀膜工艺得到低粗糙度 ITO。在金工的 指导下查阅大量资料,做了大量实验初步研究出真空设备直接镀出低粗糙镀 ITO,下面是实验内容与结果: 样 品 号 Ar+O2/ SCCM Ar SCCM H2 SCCM 气 压 Pa 速 度 HZ 功 率 KW 镀 膜 温 度 ℃ 退 火 温度 电 阻 Ω /□ Tr % Ra 备 注 (退火 工艺 ) 1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36 Ar/O 2=200 10 分钟 2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42 不加气体 10 分 钟 3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.

ITO导电玻璃检验规范

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ITO导电玻璃检验规范 1.0 目的 : 本指导书旨在规定 ITO导电玻璃的制程检验及出厂检验的相应项目,使产品从生产到完工 , 各阶段产品质量有一个统一的检验和控制规范 ,便于质量跟进 ,更好地控制产品质量 ,以确 保产品质量符合客户的质量要求 . 2.0 范围 : 本规定适用于本公司所有 ITO玻璃产品 3.0 相关文件: 《液晶显示器用氧化铟锡透明导电玻璃》 GB/T 18680-2002 《逐批检查计数抽样程序及抽样表》 GB/T 2828.1-2003 《ITO导电玻璃检验指导书》 4.0 检验项目 序号 检验项目 抽样数和制定 检验或验证方法 合格标准 备注 1 外观 1) QC检验:不定期检查 ,每 100 片抽取 20 片检查 2)生产线自检 :100%检验 目测 50W日光灯黑背景 按《ITO导电玻璃 检验指导书》 2 尺寸(长、宽) n=5

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