电子厂房洁净室设计及探讨 毕礼毅 (铁道部第四工程局 ,安徽 合肥 230009) [ 摘 要] 结合具体的工程实例 ,阐述了工业洁净厂房 通风空调系统设计的一些要求 。概括介绍了安利科技园 厂房的空气品质调节和冷水系统 ,同时对这一领 域的项目作出总结 。 [ 关键词 ] 洁净厂房 ; 通风空调 ; 空气品质调节 ; 设计 [ 中图分类号 ] T U831 [ 文献标识码 ] B [ 文章编号 ] 1007- 9467( 1999) 06- 0023- 04 广东东莞安利科技园 (见图 1) 是广东省最大的引进外资 的开发区 ,若干跨国公司将此地建设 成电子类产 品原材料 的 供应站和生 产 基地 ,主要生产 电脑硬 盘读 写磁头 等器 件产 品 ,产品供 应 IBM 、SEAGAT E 等驰 名世界 的厂 家。这种磁 头的生产需 要 环境 的洁净 度标 准非常 高 ,因为颗
旭和净化科技 http://www.dgsuncum.com 电子制造业 万级洁净室 厂房特点 : 洁净度等级要求高 ,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控 ,照度、 洁净室截面风速按设计或规范受控， 另外该类洁净室对静电要求极其严格。 其中 对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电， 造成 CMOS集成损坏。 一般来说，电子厂房的温度应控制在 22℃左右，相对湿度控制在 50-60% 之间（特 殊洁净车间有相关温湿度规定） 。 这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。 芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于 电子制造行业洁净室 的重 要组成部分，由于电子产品在制造、 生产过程中对室内空气环境和品质的要求极 为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象， 同时还对其环境的温湿度、 新鲜空 气量、噪声等作出了严格的规定。 ●电子制造厂万级洁净室 内的噪声级（空态）：不应大
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