研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明:在0~20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。
霍尔流量传感器简介，水流传感器 [ 2009-11-9 21:00:00 | By: saibosheng ] 0 推 荐 一 基本原理 水流量传感器是利用霍尔元件的霍尔效应来测量磁性物理量。在霍尔元件的 正极串入负载电阻，同时通上 5V 的直流电压并使电流方向与磁场方向正交。当 水通过涡轮开关壳推动磁性转子转动时， 产生不同磁极的旋转磁场， 切割磁感应 线，产生高低脉冲电平。 由于霍尔元件的输出脉冲信号频率与磁性转子的转速成 正比，转子的转速又与水流量成正比， 根据水流量的大小启动燃气热水器。 其脉 冲信号频率的经验公式见式 (1)。 f=8．1q-3 (1) 式中： f—脉冲信号频率， H2 q—水流量， L／min 由水流量传感器的反馈信号通过控制器判断水流量的值。根据燃气热水器机 型的不同，选择最佳的启动流量，可实现超低压 (0．02MPa 以下 )启动。 二 工作原理
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