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更新时间:2026.04.19
激光等离子体EUV光源令人期待

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双潘宁离子源等离子体发生器电源系统

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针对强流双潘宁离子源等离子体发生器电源系统的特殊要求,介绍了灯丝电源和弧电源的组成及其作用,并对其主电路设计思路进行了相关的分析。离子源等离子体放电实验结果表明,该套等离子体电源系统达到了设计指标要求。

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