LED 碳化硅衬底基础概要 碳化硅又称金钢砂或耐火砂。碳化硅是用石英砂、石油焦 (或煤焦 )、木屑 (生产绿色碳化硅时需要加食盐 )等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。碳化硅主 要分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为 3.20～3.25，显 微硬度为 2840～3320kg/mm2 。其中：黑碳化硅是以石英砂，石油焦和优质硅 石为主要原料，通过电阻炉高温冶炼而成。其硬度介于刚玉和金刚石之间，机 械强度高于刚玉，性脆而锋利。绿碳化硅是以石油焦和优质硅石为主要原料， 添加食盐作为添加剂，通过电阻炉高温冶炼而成。其硬度介于刚玉和金刚石之 间，机械强度高于刚玉。 碳化硅的硬度很大，具有优良的导热和导电性能，高温时能抗氧化。可以 作为磨料，可用来做磨具，如砂轮、油石、磨头、砂瓦类等。还可以作为冶金 去氧剂和耐高温材料。碳化硅主要有四大应用领域，即 : 功能陶瓷、高级耐火 材料、磨料及冶金
抛光是金刚石应用的传统领域,即便在今天,抛光包括超精磨仍是仪表和机械制造工艺过程中的一个最重要环节。可是,常用的磨料颗粒尺寸均大于0.1μm(100nm),已不能满足高级光学玻璃、晶体、宝石和金相表面的超高精度的表面加工。纳米金刚石兼具有金刚石和纳米颗粒的双重特性。纳米金刚石的易团聚性是严重影响其未能大量应用的重要原因。分散与分级技术是其能否实实在在服务于现代工业和科学技术的关键。初步研究结果表明,纳米金刚石应该是一种理想的超精抛光材料。本文对其发展现状,团聚与分散及其初步应用的效果等做了简要的阐述。
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