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更新时间:2026.09.13
大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究

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对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷却的方式,对样品在1 050℃进行真空退火处理,使样品内的压应力从3.09 GPa减小到1.16 GPa。对样品生长面进行机械抛光,采用表面轮廓仪检测其表面粗糙度均匀性。结果表明:在76.2 mm的金刚石膜/Si复合片上获得的表面粗糙度小于5 nm。

金刚石复合片切割工艺技术之研究

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主要针对金刚石复合片的切割工艺技术进行系统的研究,主要就是结合电火花线切割机床切割加工锚杆钻头对金刚石

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