对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷却的方式,对样品在1 050℃进行真空退火处理,使样品内的压应力从3.09 GPa减小到1.16 GPa。对样品生长面进行机械抛光,采用表面轮廓仪检测其表面粗糙度均匀性。结果表明:在76.2 mm的金刚石膜/Si复合片上获得的表面粗糙度小于5 nm。
什么是金刚石(PCD)复合片知识来自于造价通云知平台上百万用户的经验与心得交流。 注册登录 造价通即可以了解到相关什么是金刚石(PCD)复合片最新的精华知识、热门知识、相关问答、行业资讯及精品资料下载。同时,造价通还为您提供材价查询、测算、询价、云造价等建设行业领域优质服务。手机版访问:什么是金刚石(PCD)复合片