纯相、高致密度、结晶良好的陶瓷靶材是物理气相沉积薄膜的前提。采用热压烧结方法制备钛酸铋(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材,重点研究了制备工艺对靶材的物相、微观结构和致密度的影响。以Bi2O3和TiO2微粉为原料,采用固相反应法,在800℃合成出纯相的Bi4Ti3O12粉体;加入过量3wt%的Bi2O3,可以有效防止烧结过程中因Bi挥发所产生的杂相,得到纯相的Bi4Ti3O12陶瓷;采用热压烧结方法,进一步实现了Bi4Ti3O12粉体的致密烧结,确定了适宜的制备条件为850℃,30MPa,2h,在该条件下制备的Bi4Ti3O12陶瓷致密度达到99%,晶粒呈片层状,大小约2～4μm,可满足靶材制备薄膜的需求。
锌 概况（Survey）： 锌（ Zinc ）是一种化学元素，它的化学符号是 Zn，它的原子序数是 30。 性状（Character ）： 锌是一种浅 灰色的过渡金属。锌是一种青白色、光亮、具有反磁性的金属，虽然一般用作商品 的锌都经过加工，这些特性已不再鲜明。 物理性质（ Physical property）： 状态：固态 密度（接近室温） :7.14 g·cm-3 熔点时液体密度 :6.57 g·cm-3 熔点 :692.68 K，419.53 °C，787.15 °F 沸点 :1180 K，907 °C，1665 °F 熔化热 :7.32 kJ·mol-1 汽化热 :123.6 kJ·mol-1 原子性质（ Atomic properties ）： 氧化态 :+2, +1, 0 （两性氧化物） 电负性 :1.65（鲍林标度） 原子半径 :134 pm 共价半径 :12
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