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更新时间:2026.09.12
微机电系统MEMS仿真与建模研究

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微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,建模与仿真技术的迅速发展,讨论了目前有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。

微机电系统在医疗工程中的应用研究

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介绍了微机电系统的基本概念、医疗用微机电系统的研究和几种典型的应用实例。

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