量程 A B C D 5-50kg M8×1.25 12.7 50.8 63.5 100-300kg M12×1.75 19 50.8 76.2 500kg-1t M12×1.75 25.4 50.8 76.2 2-5t M18×1.5 25.4 76.2 108 技术参数 参数 单位 技术指标 参数 单位 技术指标 灵敏度 mV/V 2.0±0.05 灵敏度温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0.03 非线性 ≤%F·S ±0.03 工作温度范围 ℃ -20℃～ +80℃ 滞后 ≤%F·S ±0.03 输入电阻 Ω 350±20Ω 重复性 ≤%F·S ±0.03 输出电阻 Ω 350±5Ω 蠕变 ≤%F·S/30min ±0.03 安全过载 ≤%F·S 150% F·S 零点输出 ≤%F·S ±1 绝缘电阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC) 零点温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0
微型、薄型动态压力传感器 一、CYG502型超微型压力传感器 (绝压 ) 标称尺寸外径 2mm的超微型压力传感器 CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺 寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。 CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的 MEMS（Miro Electronic Machinical Systems） 技术设计与制造。 三维集成、 双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。 离子注 入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。 采用硅硅 直接键合技术、 倒 V型槽设计、 从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化， 为超微型传感器 的实现取得关键突破。 使用了硅–硅键合技术，改善了热匹配效果，减少了应力带来的零位不稳定性。 目前已面市品种有绝压型测量模式产品，表压型正在研制中。 二、CYG503型微型压力传感器（
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