为解决传统电容式测风传感器的输出非线性,设计了一种基于MEMS微机械加工技术的电容式风速传感器。传感器的敏感结构创新性地采用了一个三层结构的悬臂梁,这种三层结构的悬臂梁构成了一个平行板电容器。风力作用于传感器敏感结构引起电容器的极板面积、极板间距以及绝缘层介电常数的变化,从而引起电容器输出电容的变化,通过测量传感器输出电容的变化值可以实现风速的测量。基于流体力学原理和多层悬臂梁理论对传感器进行了理论分析,并为传感器设计了制作工艺流程。
无线传感器网络在悬臂梁试验中的应用——运用TinyOS软件对无线传感器编程，使节点构成无线传感器网络，并将其应用于大型土木结构的健康监测。首先介绍了无线传感器网络的特征和TinyOS操作系统，然后叙述了采用Micaz构成的无线传感器网络进行悬臂梁模态频率测试...
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