文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层
最简单的移相方法就是二次侧采用量、 角联结的两个绕组， 可以 使整流电炉的脉波数提高一倍。 对于大功率整流设备， 需要脉波数也 较多，脉波数为 18、24、36等应用的日益增多，这就必须在整流变 压器一次侧设置移相绕组来进行移相。 移相绕组与主绕组联结方式有 三种，即曲折线、 六边形和延边三角形。用于电化学行业的整流变压 器的调压范围比电炉变压器要大的多， 对于化工食盐电解， 整流变压 器调压范围通常是 56%--105%，对于铝电解来说，调压范围通常是 5%--105%。常用的调压方式如电炉变压器一样有变磁通调压， 串联变 压器调压和自耦调压器调压。 湖南电力安装 另外，由于整流元件的 特性，可以在整流电炉的阀侧直接控制硅整流元件导通的相位角度， 可以平滑的调整整流电压的平均值， 这种调压方式称为相控调压。 实 现相控调压，一是采用晶阀管，二是采用自饱和电抗器，自饱和电抗 器基本上是由一
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