石英玻璃 石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激 光器、光学仪器、实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建 材以及国防等工业，应用十分广泛。高纯石英玻璃可制光导纤维。 随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单 晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。 石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料 的不同，国外常常叫做硅酸玻 璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。 我国统称石英玻璃，多按工艺方法、用途及外观来分类，如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明 石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻
石英玻璃参数 光学石英玻璃牌号与名称 牌号 名称 应用光谱波段范围（ μｍ） JGS1 远紫外光学石英玻璃 0.185―― 2.5 JGS2 紫外光学石英玻璃 0.220―― 2.5 JGS3 红外光学石英玻璃 0.260―― 3.5 JGS1远紫外光学石英玻璃分类 类别 厚度 10mm 毛坯的透过率（ %） 0.185μｍ 0.200μｍ 0.220μｍ 0.240μｍ 0.300μｍ 0.185－1.2μｍ 1 ＞85 ＞85 ＞85 ＞ 87 ＞90 无吸收峰 2 ＞70 ＞80 ＞80 ＞ 80 ＞85 无吸收峰 3 ＞70 ＞70 ＞ 70 ＞80 允许有吸收峰 JGS2远紫外光学石英玻璃分类 类别 厚度 10mm 毛坯的透过率（ %） 0.220μｍ 0.240μｍ 0.300μｍ 1 ＞80 ＞75 ＞80 2 ＞75 ＞70 ＞75 3 ＞65 ＞70 JGS3
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