给出了一种完全基于CM O S工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式,热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差,省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理,因此不存在速度量程问题;同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向,风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试,风速的测量可以达到23m/s,风速分辨率达到0.5 m/s,风速的最大误差为0.5 m/s。传感器的反应时间为3~5秒,整个功率损耗约为500 mW。
目的研究非参比式、单光束结构的红外CO2传感器结构密封性对测量精度的影响。方法设计两个实验,一个标定实验,一个实际使用情况模拟实验。两个实验的温度、压力和标准气体一致,而传感器结构中的死体积中CO2浓度不一致。结果死体积中CO2浓度的不一致,引起传感器示值不一致。结 论红外CO2传感器结构密封性对测量精度影响很大。采用密封死体积的方法可以减小或消除此影响。
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