TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的维 修及调整 TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用， DC Power Supply Board 板是一块电源板提供射频源 工作所需的各路电源，包括电子管工作的高低压。 OSICLACTOR Board 板提供 射频源的激励信号， Q1是震荡管，Q4是推动管，Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。 V1和 V2是两个输出电子管，提供所需的射频功率。其中 Lv 是低压变压器，机 器一通电，该变压器就被通电。而 BV 是高压变压器，只有在需要射频输出时才 被通电。 Power Coupler 是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器 R5 和 R6 用于矫正入射和反射功率的偏差。 Test Port 测试端口用于检测射频电 源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下： 1. 关闭交流电源。 2. 移除射频电源
设备构成 等离子弧焊设备分为手工焊和机械化焊两大类。 手工焊设备由焊接电源、 焊枪、 控制电路、气路和水路等部分组成。机械化焊设备由焊接电源、焊枪、焊接小车 (或转动胎 具）、控制电路、 气路及水路等部分组成。 按照焊接电流的大小， 等离子弧设备可分为大电 流等离子弧设备和微束等离子弧设备两大类。 大电流等离子弧的引燃方法是在焊接回路中 叠加一个高频振荡器，依靠高频火花在钨极与喷嘴之间引燃非转移弧。 微束等离子弧的引 燃方法有两种： 一种是借助焊枪上的钨极移动机构向前推进钨极， 直至钨极端部与压缩喷嘴 相接触， 然后回抽钨极引燃非转移弧； 另一种是采用高频振荡器。 等离子弧焊机的型号有： 自动等离子弧焊机 LH-300 、熔化极气体保护等离子弧焊机 LUR2-400 ；微束等离子弧焊机 LH6 、LH-16A 、LH-20 、LH-30 。 等离子焊优点 等离子是指在标准大气压下温度超过
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