光学电压传感器是重要的电压传感仪器,因其具有独特的优势,得到了越来越广泛的应用。提出并实现了一种新型准互易反射式集成光学电压传感器,采用基于钛扩散技术制作的Y切Z传铌酸锂直波导作为电场敏感元件;采用全数字闭环负反馈检测技术和数字滤波技术处理信号,使其具有较大的动态范围和较好的线性度,同时可分离信号中的交直流信号,方便进行温补与交流电压的测量。搭建的实验光路互易性良好,在1.4~4600V的工频交流电压下,系统测量的最大非线性误差仅为0.35%,80~4600V的测量变比误差小于1%。
铜蒸气激光反射镜在非正入射的时候 ,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移。通过优化设计 ,在4 90～ 5 30nm之间p、s波获得了 90°的相移 ,同时也使反射率在 99 998%以上。Ag层的厚度对于相移不敏感 ,并且当其厚度大于一定值的时候 ,对反射率没有影响。根据误差分析 ,制备薄膜时其沉积速率精度控制在± 1%以下 ,在光谱范围内能达到± 15 2 8°的相移误差 ,相移均在 5 0 4nm处附近存在有一个收敛值。折射率的变化控制在± 1%以下 ,在光谱范围内能达到± 12 77°的相移误差。最外一层厚度变化± 1% ,其相移变化达到± 5 5°,2～ 5层和 9～ 16层对相移的影响也在 0 .5°之上 ,其余各层对相移影响非常的小。使用时的入射角控制在± 1°时 ,在光谱范围内能达到± 2 .86°的相移误差。在 5 30nm附近的波段对入射角不敏感。
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