双光纤光栅实现温度不敏感的二维倾斜角传感器
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提出并研究了一种新颖的钟摆式光纤光栅(FBG)二维倾斜角传感器,其摆杆顶端采用圆锥结构,两个FBG沿着母线方向并间隔四分之一圆周粘贴在圆锥表面,摆杆下端固定一定质量的重物。在倾斜角发生变化时,圆锥表面产生的沿着母线方向梯度分布的应变场使FBG产生啁啾效应。利用功率谱平坦的宽带光源,通过监测两个FBG的反射光强变化,可实现二维倾斜传感。此外,由于光纤光栅的反射光强不随温度变化,所以该传感器的测量对温度不敏感。实验在±4°范围内测得该传感器的灵敏度为1.96μW/(°),精度为±0.125°。
一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计
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给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试,得知传感器的风速量程超过10m/s,360°范围内风向测量误差不超过8°.传感器的响应时间不超过1s,功耗为10mW.
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