造价通
更新时间:2026.09.12
沟槽型VDMOS源区的不同制作方法研究

格式:pdf

大小:569KB

页数: 5页

沟槽VDMOS产品为满足电性能力要求,源极区域必须与p型体区短接,为了达到此目的,传统的做法是,源极需要进行一次光刻,在p型体区中做出阻挡源区注入的胶块,然后再进行源区注入。提出几种其他的制作方式,可以省去源区光刻,但同样可以达到原来的目的。诸如,通过刻蚀Si孔将源区与p型体区短接;或者利用刻蚀出的沟槽侧壁做屏蔽进行源区注入;利用凸出沟槽的多晶硅做屏蔽进行源区注入。这些办法都可简化工艺流程,缩短制造周期,节约制造成本,增强器件可靠性,提高产品的竞争力。

☆PPT的制作方法

格式:pdf

大小:2.7MB

页数: 20页

☆PPT的制作方法

热门知识

家具模型制作方法

最新知识

家具模型制作方法
点击加载更多>>
专题概述
家具模型制作方法相关专题

分类检索: