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更新时间:2026.04.18
新型倾角传感器设计

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该文利用石英晶片的压电特性,针对传统倾角传感器的缺点,提出了一种新型的倾角传感器设计方法。应用本文提出的设计方法设计出的传感器与其他传感器相比具有体积小,灵敏度高,抗干扰能力强等优点。同时对传感器的原理,结构,信号处理电路进行了分析。

双轴微磁通门传感器

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设计和制作了一种双轴微磁通门传感器。这种微型传感器为螺线管型,磁芯设计为矩形环状闭合结构,磁芯每条边上均绕有激励线圈和检测线圈,保证传感器能够同时检测X轴和Y轴两个方向上的弱磁场。采用了MEMS技术制作微型传感器,其中磁芯用电镀的方法获得,材料为N i0.8Fe0.2坡莫合金,厚度5μm。制作出的微型传感器的尺寸为7×7mm2,单元内部最小线宽为50μm。检测了线圈的电气导通性,测得电阻值为110欧姆。该微型传感器能够检测弱磁场,因此可用于航天、医学和军事等领域。

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