文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层
高压开关安装 1 范围 本工艺标准适用于 6～10kV 一般工业与民用建筑电气安装工程的隔离开关、 负荷开关 安装。 2 施工准备 2.1 设备及材料要求： 2.1.1 高压开关设备规格、型号、电压等级应符合设计要求。 2.1.2 设备应装有铭牌，注明生产厂家及规格、型号，并有产品合格证及技术文件。 2.1.3 设备附件齐全，外观检查完好，瓷件无破损及裂纹。 2.1.4 安装用的材料均应有合格证，材料规格型号符合设计要求，型钢无明显锈蚀。 除地脚螺栓外，其它紧固螺栓及垫圈均应采用镀锌件。 2.2 主要机具： 2.2.1 安装机具：电锤、电钻、型钢切断机、电焊机、气焊工具。 2.2.2 一般工具：电工工具、手锤、扳手、水平尺、尺类、线坠、高凳。 2.3 作业条件： 2.3.1 土建工程基本
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