微型、薄型动态压力传感器 一、CYG502型超微型压力传感器 (绝压 ) 标称尺寸外径 2mm的超微型压力传感器 CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺 寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。 CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的 MEMS（Miro Electronic Machinical Systems） 技术设计与制造。 三维集成、 双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。 离子注 入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。 采用硅硅 直接键合技术、 倒 V型槽设计、 从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化， 为超微型传感器 的实现取得关键突破。 使用了硅–硅键合技术，改善了热匹配效果，减少了应力带来的零位不稳定性。 目前已面市品种有绝压型测量模式产品，表压型正在研制中。 二、CYG503型微型压力传感器（
测力传感器在钢筋混凝土厂房托梁拔柱中的应用——在钢筋混凝土排架结构厂房改造托梁拔柱施工过程中，针对工程特点，创新运用测力传感器实时控制技术，通过设置附着式钢柱、箱型钢托梁等承载构件，有效解决了厂房改造的难题，取得了显著的经济效益。
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