提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明:硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜材料参数已知时,采用大面积、高厚度,可以改善传感器性能。
新型沥青路面传感器的研究 作者： 郁春潮， YU Chun-chao 作者单位： 长江大学物理科学与技术学院,湖北,荆州,424023 刊名： 长江大学学报A(自然科学版) 英文刊名： JOURNAL OF YANGTZE UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 2008，5(3) 引用次数： 0次 参考文献(5条) 1.胡力群 . 沙爱民 多功能道路检测车在道路养护、管理中的应用 [期刊论文]-筑路机械与施工机械化 2005(06) 2.李晋惠 . 楼伟 .姜寿山 基于CCD的公路路面病害检测技术研究 2001(02) 3.段峰 .王耀南 .雷晓峰 机器视觉技术及其应用综述 [期刊论文]-自动化博览 2002(03) 4.孙长库 . 叶声华 激光测量技术 2001 5.郁春潮 广角镜头的摄像机非线性标定技术 [期刊论文]-长江
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