针对多晶硅生产中废气处理工艺存在的问题其进行改造,改造后废气中约有92.1%的氯硅烷被回收利用,碱液的月平均消耗量减少约500 t;放空气体中有毒有害成分的质量分数由17.6%降至0.08%;着火和爆炸事故等安全问题已彻底消除,生产系统的稳定性得到改善,多晶硅的月均产量和产品合格率分别提高约13.8%和4.7%。
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