多晶硅生产过程中的节能降耗技术分析
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由于我国信息技术飞速发展和市场经济急剧演变,多晶硅的生产技术也是日益的向前发展着,而且渗透到人们生活和工作中的各个方面,已是不可缺少的一部分了.本文根据多晶硅生产中副产物的的综合循环利用,完善升级沉积工艺以及升级与创新新型沉积配置对多晶硅在生产过程中的节能降耗产生的作用.同时还分析了当前国内广泛先采用和发展完善的生产过程优化技术投入到多晶硅生产中去,从而能够有效的减少多晶硅的制备费用.
多晶硅生产中废气处理工艺改造
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多晶硅生产中废气的处理方法主要有水洗法、焚烧法和碱液淋洗法.水洗法是多晶硅厂最传统的废气处理方法,是通过大量的喷淋水吸收废气中氯化氢和氯硅烷,该方法资源浪费量巨大,同时存在重大的安全隐患,现在已基本不使用.焚烧法是将废气进行高温燃烧和水解,得到二氧化硅和盐酸,该方法因前期投资过大、设备要求过高、工艺复杂、运行成本高等原因,其应用受到限制.碱液淋洗法因其工艺简单、投资和运行成本较低、处理效果好等优点,成为目前多晶硅厂最常用的废气处理方法.
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