MEMS器件、保护电路、空间太阳电池等的制作需要使用硅双面抛光片,并且要求抛光片的厚度很薄,传统的硅抛光片加工工艺已经不能满足这一要求。介绍了一种用于超薄硅单晶双面抛光片加工的抛光工艺方法。通过对硅片抛光机理[1]、抛光方式、抛光工艺的研究和对抛光工艺试验结果的分析,解决了超薄硅单晶双面抛光片在加工过程中碎片率高、抛光片背面表面质量不易控制的技术难题,研制出了高质量的超薄硅单晶双面抛光片。
本实用新型公开了一种新式的翘角砂轮，其外圆向背面翘成-0至45度之间的0角。由于本实用新型的砂轮本身具有一定的角度，可将磨削时与被磨削物体表面的点接触变为面接触，进而提高磨削效率和被磨表面的平整度和光滑度。
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