结合传统陶瓷厚膜气体传感器和硅微加工气体传感器的特点,设计了基于陶瓷基底的悬梁式微热板结构,并提出一种无内引线的封装方式。对微热板的传热过程进行分析,并通过有限元工具对具有不同结构参数器件的热特性进行模拟,得到结构参数与器件热特性间的关系。通过控制工艺参数,在Al2O3陶瓷基底上制作出性能良好的Pt加热电阻及电极,并采用激光微加工技术实际制作了梁宽为0.2 mm和0.4 mm的两种结构器件。对器件的加热功率-温度关系进行测试,0.2 mm梁结构器件在400 mW加热功率下板上平均温度约为250℃,同模拟结果一致。
陶瓷加热板相关专题
- 立得氏纳米陶瓷泥的价格
- 利华陶瓷价格怎样
- 廉价陶瓷刀有毒
- 琉璃瓦是塑料还是陶瓷的
- 铸铁浴缸好还是陶瓷的
- 铸造陶瓷过滤片怎样放合理
- 淄博陶瓷管生产厂家
- 卓远陶瓷算不算一线品牌
- 怎么让陶瓷造粒粉不粘膜
- 怎样识別宏陶瓷砖的真假
- 以污泥、建筑垃圾为基料制备高强轻质发泡环保陶瓷板
- 含有彩色浆料和渗透墨水形成的陶瓷砖及制作方法
- 中国美术学院手工陶瓷实验器物创作课程的建构与实践
- 工程陶瓷超精加工工艺参数对表面粗糙度影响实验
- 新型建筑陶瓷薄板及无机轻质板材
- 含脱粘界面陶瓷颗粒增强金属基复合材料弹性常数预报
- 建筑陶瓷地砖表面氡析出及其对室内空气中氡浓度影响
- 建筑陶瓷卫浴洁具暖通制冷家具用品
- 可用于紫外激发白光LEDCeF3基透明玻璃陶瓷
- 基于灰色马尔可夫理论纳米复合陶瓷刀具磨损量预测
- 中国建筑卫生陶瓷新品发布会将
- 中国硅酸盐学会陶瓷分会四届五次常务理事扩大会召开
- 十三五期间建筑卫生陶瓷行业改革方向及发展目标
- 前三季度全国建筑陶瓷、卫生洁具行业出口额排行
- 氧化锌和铅硼玻璃料对MgTiO_3微波介质陶瓷的影响
- 华鹏陶瓷品牌定位价值趋向
- 可加工生物活性云母、氟磷灰石玻璃陶瓷的制备及生物活性