丹东海浩电子科技有限公司 电话： 0415-6188898 传真： 0415-6138898 德国沃克斯（ X-RAY WORX) 透射式微焦 点射线源 THE 德国 WorX 产品描述：沃克斯（ X-RAY WorX）依托其工程师在微焦 点射线源长期工作经验的基础，对微焦点的射线管进行了新的改进， 使其得到全新的发展，做出了更具有竞争力的微焦点射线源。 公司简介 沃克斯（X-RAY WorX）依托其工程师在微焦点射线源长期工作经验的基础，对 微焦点的射线管进行了新的改进， 使其得到全新的发展， 做出了更具有竞争力的 微焦点射线源，分辨率可以达到亚微米级，小于 200 纳米的精度，功率更高， 使其应用范围更加广泛，使用质量最好的材料制造，更加耐用，输出更加稳定。 产品特点 靶功率最高可达 25W 高分辨率、高靶功率、高放大倍率的完美结合 丹东海浩电子科技有限公司 电话： 0415-6188
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作用对光栅衍射起重要影响,其中非金属材料Si3N4比金属材料Cr、Au的相位作用更明显。最后优化得到了用Si(或Si3N4)做衬底的Si3N4、Cr、Au光栅,分析结果显示,其一级衍射效率优于目前用于13.4 nm软X射线干涉光刻的Cr、Si3N4复合光栅。
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