"影锥法"是实验上定量测量散射大小的常用方法,具体做法是采用适当大小的铅块放置在放射源和探测器之间,铅块应足够厚,以便能完全遮挡放射源对探测器的直射贡献,此时探测器所记录的辐射剂量率全部来自于散射,进而能定量得出散射光子的辐射剂量,图1为"影锥法"装置实例,测量结果列于表1。由表1可知,"影锥法"测量的散射辐射剂量率占总剂量率的不足1%,满足GB/T 12162.1—2000的设计要求。
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4 nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形浮雕底角大小等因素对光栅一级衍射效率的影响。结果表明,在此波段处,Si3N4、Cr、Au浮雕的相位作用对光栅衍射起重要影响,其中非金属材料Si3N4比金属材料Cr、Au的相位作用更明显。最后优化得到了用Si(或Si3N4)做衬底的Si3N4、Cr、Au光栅,分析结果显示,其一级衍射效率优于目前用于13.4 nm软X射线干涉光刻的Cr、Si3N4复合光栅。
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