研究设计 电 子 测 量 技 术ELECT RON IC M EASU REM ENT T ECH N OLOGY 第 30卷 第 6 期 2007年 6 月 石英玻璃管尺寸参数测量的新方法 王庆有 刘海军 金 贵 ( 天津大学精密仪器与光电子工程学院 光电信息技术 科学教育部重点实验室 天津 300072) 摘 要 : 线阵 CCD器件在尺 寸测量及光电检测等方面有着非常广泛的应用 ,但受 CCD器件本身尺寸 和结构的 限制 , 在测量 范围、测量精度和测量速度方面常产生矛盾 , 这一矛盾可以通过一些技术手段得以解决。本文介绍一 种用线阵 CCD 测量石英玻璃管尺寸的新 方法 ,通过多片 CCD拼接的方法实现 对较大尺寸 的测量 , 实现在保 证高精度 情况下较 大量程 的测量。并采用了单色 LED 作为照明光源 ,使得系统的 精度和灵敏度都有一定的提高 ,稳定性增强。 关键词 : 线阵
石英玻璃 石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激 光器、光学仪器、实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建 材以及国防等工业,应用十分广泛。高纯石英玻璃可制光导纤维。 随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单 晶硅;清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。 石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料 的不同,国外常常叫做硅酸玻 璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。 我国统称石英玻璃,多按工艺方法、用途及外观来分类,如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明 石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻
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