论述用环形电镀金刚石线锯锯切花岗石时脆、塑性转变的临界条件,研究认为,提高锯丝的锯切速度,有利于花岗石由脆性向塑性转变。用自制的试验设备对花岗石进行锯切试验,试验结果表明,当花岗石的锯切深度小于其脆、塑性转变的临界深度时,花岗石可以实现塑性域锯切,锯切表面光滑,质量较好。
采用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了锯切实验,使用扫描电子显微镜对单晶硅锯切的表面缺陷与锯丝失效机理进行了研究,分析了走丝速度和工件进给速度对锯切单晶硅表面缺陷特征的影响。分析发现:线锯锯切的硅片表面缺陷主要有较长较深的沟槽、较浅的断续划痕、材料脆性去除留下的表面破碎及个别较大较深的凹坑。走丝速度增大,工件进给速度降低,锯切材料的表面缺陷逐渐由以脆性破碎凹坑为主转,变为以材料微切削去除留下的塑性域剪切沟槽为主。锯丝的主要失效形式为金刚石磨粒的脱落,脱落的磨粒在锯切过程中被挤压嵌入加工表面造成较大尺寸较深的凹坑,对材料表面和亚表面质量的损害更为严重。
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