为了实现对微小位移的测量,研制了一套基于单模光纤输出半导体激光器和2维位置敏感探测器的位移检测系统,可以有效地抑制环境光噪声.对半导体激光器的注入电流进行1kHz的调制,实现输出光功率的调制.在信号处理电路中,采用相敏检波技术,解调探测器的输出交流信号,得出光斑能量中心位置,消除外界干扰.结果表明,测量精度优于1μm.这一结果对于多自由度误差检测是有帮助的.
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