VICTREX PEEK先进CMP保持环与FOUP晶圆盒
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CMP桌面工位空调的气流组织与微环境评价
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采用k-ε三维湍流模型对安装电脑显示器风口(computer monitor panel,CMP)桌面式工位空调系统的一典型办公室工作区微环境进行数值模拟,对3种送风速度下工作区及人体周围的温度场、速度场以及人体吹风感(draught rating,DR)和预期不满意百分率(predicted percentage of dissatisfied,PPD)进行分析与研究。研究结果表明,工位空调室内温度呈现分区分布,工位送风效率高,可以实现总体节能,在合适的工位送风速度下,可以为办公人员提供较佳的工作环境。
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