微小流量气体的质量流量控制是亚硝胺化学发光检测的重要组成部分,气体流量的控制精度对检测结果有重要影响。文中根据反馈控制的原理,采用微型电磁比例阀、流量传感器、数字控制电路和PID算法搭建了一套适用于微小流量场合的气体流量控制装置。设计了比例阀的驱动电路,传感器的信号调理电路,微控制器电路,针对被控对象的特性对控制算法进行了优化。测试结果显示,流量控制的精度优于±0.05ml/min(标准状况下),调节时间小于2s,基本无超调。且由于采用反馈控制,具有较好的抗干扰性能。该装置使用方便,成本低,具有一定的实用价值。
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