文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层
按照开关面板的设置可以分为： 单控开关：开关面板上只有一个开合键组成。 （如图） 双控开关 ：开关面板上有两个开合键组成。 （如图） 三控开关 ：同理类推（如图） 多控开关 ：同理类推 按照开关用途不同可以分为： 单控开关和双控开关。 单控开关 ：在 A地方开，只能在 A地方关用电器。 双控开关 ：在 A地方开，可以再 A地方关，也可以在 B地方关用电器。 从上面进而可以引出一个问题为什么会有 双控开关 ？ 在一个寒冷的冬夜， 张三要睡觉了，他离开温暖的被窝冒着寒冷走到门 口关灯，然后摸黑通过客厅进入卧室。双控开关的出现改变了这一切， 例如在客厅门口和临近卧室的两个位置各安装一个双控开关， 那么这两 个位置就都能打开或关闭客厅顶灯了。 同样的设置，也能应用在卧室中， 在卧室门口和床头都安装一个双控开关， 就不必从床上特意走到卧室门 口关灯了。 经过实践证明双控开关已经逐渐趋于成为家庭照明控
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